日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器：

雖然外觀是傳統產品，但傳感器驅動方法已得到改進，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結構具有高氣密性的產品，并增加了切口接頭。

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下

±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用

日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器

性能參數：

 電器連接：

   ★使用注意

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規格。
有關MFC規格，請單獨查詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列

日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器

尺寸圖：